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苏州力高检测摄影有限公司

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光学仪器影像仪的表现器及其他摄影的判定合力的表现
小憩类别:小憩中心  发布时间:2014-11-13 10:05:19

上一章节我们简单的介意了怎么样从外观方面给大家讲述了似今去初步判定一个影像测量仪是否是合力品的判定表现,以及似今让影像仪生产厂家给我们现场检验仪器的表现性,今天我们就从神摘层次的去了解呐泊瘕决定了测量仪是否合力。下面就给大家总结出了几个主要的泊瘕。

表现项目 表现器及其它摄影
聚焦平面尺寸测量示值误差(Exy) 不确定度不大于1/4MPEV的线纹尺或二维掩模版
光轴方向尺寸测量示值误差(Ez) 不确定度不大于1/4MPEV的量块或台阶规
影像探针系统尺寸测量示值误差(Ev) 不确定度不大于1/4MPEV的线纹尺或掩模版
各截面测量结果一致性(Es) 专用台阶规
探测误差(P2d) 标称帜┒(20-50)mm,圆度不大于1/4MPE的圆形靶标
影像测头探测误差(Pv) 标称帜┒(0.1-1)um,圆度不大于0.5um的圆形靶标
变倍探测误差(Pz) 圆度不大于0.5um且标称帜┒在视场方案外的圆形靶标

另外表现前应确认仪器的外观及花样作用无影响校准正确率真及校准结果的缺陷。以上表格的数据获得的操作步骤及似今去运算的方法下面章节我们会给大家退一步说暗,这外我们仅是给大家理顺思路。当然大家也可以致电我司,我们的生产研发工程师也会给出大家最专业的解答。

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